面對公司背照式圖像傳感器芯片制造工藝突破產(chǎn)能瓶頸的急迫需求,Etch團(tuán)隊深感責(zé)任重大,為充分支持公司戰(zhàn)略目標(biāo)的實(shí)現(xiàn),設(shè)置了有挑戰(zhàn)性的目標(biāo)——WPH提升達(dá)到120%。
“我們真的能做到嗎?”WPH(Wafer Per Hour,每小時晶圓產(chǎn)量)提升達(dá)到120%——這不僅是一個激進(jìn)的目標(biāo),在行業(yè)內(nèi)更是幾乎難以實(shí)現(xiàn)的突破。一般而言,WPH提升幅度不會超過30%,否則就意味著必須對工藝條件進(jìn)行大幅調(diào)整,甚至推翻重構(gòu)。而這一次,我們不僅要挑戰(zhàn)技術(shù)極限,還要確保產(chǎn)品質(zhì)量、良率不受影響。
短暫的沉默后,討論驟然升溫。我們知道,這是Etch團(tuán)隊向極限發(fā)起的挑戰(zhàn)。
從0到1,拆解“不可能”
面對前所未有的挑戰(zhàn),我們選擇用最穩(wěn)健的方式應(yīng)對——將大難題拆解成可落地的模塊,一步步攻破技術(shù)壁壘。
我們深入剖析刻蝕工藝,精準(zhǔn)鎖定影響WPH的關(guān)鍵環(huán)節(jié),制定針對性優(yōu)化方案。從優(yōu)化主刻蝕步驟、調(diào)整刻蝕氣體搭配,到改進(jìn)刻蝕功率等,每一個微小的參數(shù)變化,都可能成為突破的關(guān)鍵。為了確保每一天都有進(jìn)展,我們設(shè)立了每日迭代機(jī)制,堅持每日報告、每周優(yōu)化,確保每一步都踏實(shí)可行。
然而,真正的挑戰(zhàn)不僅僅是找到優(yōu)化方案,更是要確保這些調(diào)整不會影響晶圓的電性、良率及可靠性。每一次工藝優(yōu)化,我們都必須進(jìn)行嚴(yán)格的量測分析,從刻蝕后的形貌,到切片實(shí)驗(yàn),再到最終的電性、良率和可靠性驗(yàn)證,確保技術(shù)方案經(jīng)得起時間的考驗(yàn)。
跨越邊界,聯(lián)合攻堅
這不僅是Etch團(tuán)隊的挑戰(zhàn),更是整個公司的戰(zhàn)斗。我們打破職級和部門的邊界,與工藝整合、質(zhì)量等多個團(tuán)隊并肩作戰(zhàn),同時與設(shè)備廠商建立戰(zhàn)略合作,開展聯(lián)合研發(fā)。定期召開技術(shù)交流研討會,將最先進(jìn)的思路引入優(yōu)化方案,讓突破的可能性不斷提升。
在這個過程中,我們成立了臨時項目組,每天專項匯報進(jìn)度,確保問題不過夜,方案不過周。失效分析實(shí)驗(yàn)室的團(tuán)隊也加入了這場攻堅戰(zhàn),精準(zhǔn)安排切片分析的時間和優(yōu)先級,確保數(shù)據(jù)能第一時間反饋,為方案優(yōu)化提供強(qiáng)大支持。
整個團(tuán)隊形成了一種前所未有的高效協(xié)作模式——沒人等待,沒人觀望,每個人都在全力以赴!
WPH提升突破120%:極限被打破
經(jīng)過無數(shù)個日夜的攻堅,我們迎來了歷史性的一刻——WPH提升達(dá)到120%! 這一突破不僅超越了成熟制程的效率極限,還顯著提升了設(shè)備產(chǎn)能,并為公司帶來了巨大的成本收益。
當(dāng)數(shù)據(jù)最終確認(rèn)的那一刻,辦公室里爆發(fā)出熱烈的掌聲和歡呼。
“我認(rèn)為,這種團(tuán)隊互相支持、一起進(jìn)步、一起解決問題的氛圍,是大家能做到‘不可能’的關(guān)鍵。”工程師Alex作為項目組的一員,入職不滿一年,這是他參與的第一個大項目。他分享道:“一開始,我不太愛說話,但大家的熱情帶動了我。后來,我開始積極參與討論,主動解決問題。每次和團(tuán)隊一起攻克難題,以及領(lǐng)導(dǎo)的認(rèn)可和鼓勵,都讓我感到特別有成就感,也給了我繼續(xù)學(xué)習(xí)和前進(jìn)的動力。”
挑戰(zhàn)未止,我們期待與你同行
回望這段旅程,我們深知,真正的成長源自不斷挑戰(zhàn)極限。Etch團(tuán)隊的每一位成員,都是敢于迎接不可能的人。我們相信技術(shù)能夠改變世界,也相信,每一微米的精進(jìn),終將匯聚成產(chǎn)業(yè)的巨浪。
如果你熱愛技術(shù),敢于挑戰(zhàn)極限;如果你的眼里有光,腳下有根,肩上有擔(dān)——歡迎加入格科,與我們一起,突破下一道極限!